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2-8寸研磨后硅片清洗机
四通道立式插片清洗一体机
设备参数：
适用工件：4 寸4 篮、6 寸3 篮、8 寸 * 2 篮
批量产能：每篮放置 25 片晶圆
工艺流程：手动上料→酸槽→OF 槽→OF 槽→清洗槽→OF 槽→碱洗槽→碱洗槽→碱洗槽→OF 槽→OF 槽→OF 槽→手动下料
主要材料：金属骨架为 SUS304 材质搭配 PP 乳白板，槽体材质为 PPN
运送方式：机械手自动传送
节拍时间：可根据实际工艺调整
工艺效果：去除晶圆片研磨后表面残留的大颗粒杂质
其他说明：设备支持定制，可做成手动款或半自动款
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公司办电话：0512-58596000
E-mail: sales@zjgsdcs.com
地址：江苏省张家港市金港大道1001号
张家港市超声电气有限公司 苏ICP备08019023号
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