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粗抛/精抛后清洗机
四通道立式插片清洗一体机
设备参数：
适用工件：8 寸工件可放置 2 篮，14 寸工件可放置 1 篮
批量产能：8 寸碳化硅片每批两篮，每篮 25 片
工艺流程：手动上料→超声碱洗槽→QDR 槽→超声碱洗槽→QDR 槽→慢提拉槽→烘干槽→手动下料
主要材料：金属骨架为 SUS304 搭配 PP 乳白板，槽体采用 PPN、SUS316 材质
运送方式：机械手自动传送
节拍时间：可根据工艺情况调整
工艺效果：清除晶圆片表面残留抛光液与大颗粒杂质
其他说明：设备可按照客户需求定制为手动或半自动机型
热线电话：189 2199 5862
公司办电话：0512-58596000
E-mail: sales@zjgsdcs.com
地址：江苏省张家港市金港大道1001号
张家港市超声电气有限公司 苏ICP备08019023号
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