零部件加工行业

公司主要产品包括各类全自动半导体硅片插片机,自动蓝宝石超声波清洗机,全自动硅片插片清洗机,其他非标自动化设备,以及配套的专业技术和售后服务。

我司产品广泛应用于电子半导体、太阳能光伏行业以及汽车、光学、精密零部件加工等精密清洗。目前产品遍布全国各地,与众多知名企业保持紧密合作,国外市场也已打开。

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让清洗更高效,共创绿色未来

 

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二流体单片刷洗甩干机


一、产品介绍

二流体单片刷洗甩干机(带双流体刷洗甩干的碳化硅清洗机)由单工位上料装置、晶圆机械手装置(带翻转功能)、旋转刷洗装置、单工位下料装置、FFU 净化单元、电气控制系统、管路系统及气动系统组成。

产品参数


二、生产流程:

上料 → 定位 → 旋转、刷洗、清洗、双流体喷淋 → 旋转甩干 → 下料


三、主要材质:

金属机架白色 PP 板


四、输送方式:

晶圆由洁净机械手输送


五、产品特点与应用

可去除晶圆表面的残留颗粒


六、产品细节

清洗腔容量:1 片晶圆典型生产节拍:约 144 秒 / 片(刷洗时间可调)标准尺寸:6 英寸(φ150mm)、8 英寸(φ200mm)非标尺寸:φ150~153mm、φ200~203mm


七、应用场景

2023 年 10 月,该二流体单片刷洗的碳化硅清洗机完成研发并进入试运行阶段。


热线电话:189 2199 5862
公司办电话:0512-58596000
E-mail: sales@zjgsdcs.com

地址:江苏省张家港市金港大道1001号

张家港市超声电气有限公司  苏ICP备08019023号

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