宾夕法尼亚大学
哥伦比亚大学
哈佛大学
康奈尔大学
伦敦大学学院
麻省理工学院
牛津大学
斯坦福大学
产品中心
让清洗更高效，共创绿色未来
获取清洗方案 189 2199 5862
脱胶清洗一体机
四通道立式插片清洗一体机
设备参数：
适用工件：每批可放 2 片 8 寸碳化硅片，或 1 片 14 寸碳化硅片
批量产能：8 寸碳化硅片每批可处理 300 片
工艺流程
脱胶段：小车输送上料→超声槽→脱胶槽→小车输送下料
清洗段：手动上料→超声碱洗槽→QDR 槽→超声酸洗槽→QDR 槽→慢提拉槽→手动下料
主要材料：金属骨架为 SUS304 搭配 PP 乳白板，槽体材质为 PPN、SUS316 与石英
运送方式：机械手自动传送
节拍时间：可根据工艺需求调整
工艺效果：完成工件脱胶，同时清除碳化硅片表面大颗粒杂质
其他说明：设备可按需定制为手动或半自动款式
热线电话：189 2199 5862
公司办电话：0512-58596000
E-mail: sales@zjgsdcs.com
地址：江苏省张家港市金港大道1001号
张家港市超声电气有限公司 苏ICP备08019023号
微信公众号
热线电话：189 2199 5862
公司办电话：0512-58596000
E-mail: sales@zjgsdcs.com
地址：江苏省张家港市金港大道1001号
张家港市超声电气有限公司 苏ICP备08019023号
