一、抛光液供给系统包含以下组件：

一个抛光液供给桶（净容量 60 升），配备液位传感器

一套搅拌系统

一套供给系统（含供给泵及过滤器），流量为 5–12 升 / 分钟

一套桶体热交换系统，采用 PLC 控温（温度范围 20–50°C，精度 ±1°C）

一套电气系统，含 PLC 程序及 ProfiNet 接口（通过 PN/PN 耦合器）

一套抛光液循环过滤装置

一套抛光液回收装置

一台回收泵

至少两个液位检测器（用于泵控及异常报警）

双功能回收桶（含回收区与直排区），带流量控制

二、产品参数

生产流程搅拌 → 供给 → 回收 → 再供给

主要材质：金属框架 + PP 外壳板

PVDF 气动泵

PFA 管路

特殊功能

pH 平衡

恒温控制

三、产品特点与应用

本系统用于为碳化硅（SiC）晶圆制造提供化学机械抛光液。

四、产品细节

采用进口材料及 PFA 冷却盘管

装配过程严格控制洁净度

在万级（Class 10,000）洁净室环境下生产

有效防止颗粒及金属污染

五、应用场景

截至 2025 年 4 月，该抛光液供给系统已销往超过 100 家碳化硅晶圆生产终端客户。