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半导体石英管清洗机
四通道立式插片清洗一体机
半导体石英管清洗机由主体、清洗槽、储液槽、管路系统、排气系统、气动系统及电气控制系统组成。清洗工艺包括:预清洗、鼓泡酸洗(氢氟酸 / 盐酸)、纯水溢流鼓泡清洗及废酸 / 废水排放。酸液由中央供酸系统供给。
三、生产流程:小车装料 → 花篮内管体旋转 → 药液清洗 → 药液泵送至储酸槽 → 去离子水清洗 → 小车卸料
四、主要材质:
金属机架 + PP 外壳槽体材质:PPN 或 PVDF
五、输送方式:
机械臂输送
专为 φ540×4000mm 石英管设计,可有效去除石英管表面污染物。
八、功能特点: