零部件加工行业

公司主要产品包括各类全自动半导体硅片插片机,自动蓝宝石超声波清洗机,全自动硅片插片清洗机,其他非标自动化设备,以及配套的专业技术和售后服务。

我司产品广泛应用于电子半导体、太阳能光伏行业以及汽车、光学、精密零部件加工等精密清洗。目前产品遍布全国各地,与众多知名企业保持紧密合作,国外市场也已打开。

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抛光后清洗机


四通道立式插片清洗一体机

一、产品介绍

蓝宝石衬底化学机械抛光(CMP)后脱蜡自动清洗设备由外部热水供应系统(可同时为三台清洗机供能)、LD 上料区、清洗区、机械手、ULD 下料区等部分组成。该设备配备自动加热恒温循环装置、超声波清洗装置、喷淋快排鼓泡溢流装置,以及管路与电气控制系统。

抛光后晶圆清洗机采用 PLC 控制,具备清洗时间可调、清洗完成报警、温控调节、高低液位报警、溢流保护及泄漏检测报警等功能。


二、生产流程:上料 → 浸泡槽 → 脱蜡清洗槽 → 脱蜡清洗槽 → 超声波溢流槽 → 超声波化学槽 → 超声波化学槽 → 超声波溢流槽 → 超声波溢流槽 → 超声波溢流槽 → 慢提拉槽 → 下料


三、主要材质:金属框架 + PP 外壳;槽体采用 SUS316 拉丝板材。


四、输送方式:机械臂输送


五、产品特点与应用

专为蓝宝石衬底化学机械抛光(CMP)后清洗工艺设计
配合专用清洗剂使用时,抛光后晶圆清洗机可有效去除蓝宝石衬底表面的蜡质与颗粒污染物。清洗剂不影响工件物理性能,工件无损伤。

六、洁净度要求:工件内外表面无可见团聚颗粒


七、应用场景

2024 年 11 月,5 台蓝宝石衬底化学机械抛光(CMP)后脱蜡自动清洗设备在华灿光电(HC SemiTek)客户现场完成调试并投入运行。


热线电话:189 2199 5862
公司办电话:0512-58596000
E-mail: sales@zjgsdcs.com

地址:江苏省张家港市金港大道1001号

张家港市超声电气有限公司  苏ICP备08019023号

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