一、产品介绍

本设备由上料台、一号超声波碱洗槽、二号超声波碱洗槽、三号超声波碱洗槽、快速纯水冲洗槽（QDR）、一号超声波漂洗槽、二号超声波漂洗槽及下料台构成，共计 6 个工艺工位。工作原理为利用高穿透力超声波产生的机械振动冲击工件表面，结合清洗剂的化学除污作用，实现晶圆片与杂质的充分分离、清洗及反应，使工件表面达到高洁净度标准。

二、生产流程

上料台人工上料→一号超声波碱洗槽→二号超声波碱洗槽→三号超声波碱洗槽→快速纯水冲洗槽→一号超声波漂洗槽→二号超声波漂洗槽→下料

三、主要材质

金属框架 + 聚丙烯（PP）外壳；槽体采用 316 不锈钢（SUS316）、改性聚丙烯（NPP）制成

四、输送方式

机械臂自动输送

四、产品特点及应用

专为蓝宝石衬底退火前的清洗工序研发设计，是蓝宝石衬底退火前处理的专用清洗设备。

五、产品细节

搭配适配清洗剂使用，可高效去除晶圆退火前蓝宝石衬底表面的颗粒杂质；清洗剂与超声波协同处理过程中，不会改变工件物理性能，确保工件无任何损伤。

六、应用案例