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让清洗更高效,共创绿色未来
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碳化硅片陶瓷盘清洗机
四通道立式插片清洗一体机
碳化硅用陶瓷板清洗机具备自动加热恒温控制、鼓泡溢流装置及管路与电气控制系统。设备功能采用PLC可编程控制,包含清洗时间可调、清洗完成报警、温度控制调节、高低液位报警、溢流保护及泄漏检测报警等功能。
人工上料→一号超声波碱洗槽→二号超声波碱洗槽→一号漂洗槽→二号漂洗槽→人工下料
槽体:增强聚丙烯(PPN)/316不锈钢(SUS316)
用于去除碳化硅(SiC)晶圆用陶瓷板表面的污染物。
生产周期:≤1批次/10分钟(清洗时间可按需调节)。