一、产品介绍

研磨后清洗机（SiC研磨后清洗机）具备自动加热、恒温及循环装置、超声波清洗装置、喷淋快排鼓泡溢流装置及管路与电气控制系统。设备功能采用PLC可编程控制，包含清洗时间调节、清洗完成提示、温度控制调节、高低液位报警、溢流保护及泄漏检测报警等功能。

二、产品参数

生产流程

人工上料→超声波碱洗槽→高效快速纯水冲洗槽（HQDR）→人工下料

三、主要材质

金属框架：304不锈钢（SUS304）、冰淇淋级聚丙烯（PP）板；槽体：增强聚丙烯（PPN）/316不锈钢（SUS316）

四、输送方式     人工输送

五、产品特点

用于去除研磨工序后碳化硅（SiC）晶圆表面的污染物及颗粒杂质（原文“conimation”推测为“contamination”，译为污染物）。

六、产品细节

清洗批次时间：≤1批次/10分钟（清洗工序时间可调节）。

七、应用案例